12月6日,具有國際尖端技術水平的國內首臺套MOCVD(金屬有機化學氣相沉積設備)設備在上海張江理想能源公司成功下線,并與世界知名的臺資龍頭企業簽約供貨。此舉打破了高亮度LED芯片設備生產長期被國外企業壟斷的局面,使重大裝備國產化邁出堅實一步。
MOCVD是高亮度LED芯片生產過程中最關鍵的設備,因設備技術難度高、開發周期長以及國內產業化起步晚等原因,市場主要被歐美日企業所壟斷。我國高亮度LED外延芯片與封裝在規模與素質上都取得了舉世矚目的成就,但關鍵裝備特別是量產型MOCVD仍然依靠進口,生產成本居高不下,嚴重制約著LED 產業的發展。因此開發出更高性價比的國產商業化MOCVD設備成為LED外延芯片企業的迫切要求。
2010年9月,理想能源啟動MOCVD項目,在短短的一年時間里,理想能源技術團隊設計開發出了具有自主知識產權的MOCVD設備,并完成了第一代單腔體獨立設備和高產出率的簇式生產系統的生產組裝,成功地實現GaN基LED外延片的首次發光。經過設備原型機近1年的運行證明其性能達到甚至超過預定指標,并于2012年5月通過上海市科委的驗收。依據連續的工藝驗證結果和客戶數據反饋,在第一代原型機的基礎上開發出第二代量產型MOCVD設備,量產機型在產出率、可靠性、運行經濟性等方面都有了顯著的提升。
理想能源首臺量產型MOCVD設備的下線,將有望逐步打破量產化MOCVD設備一直被國外廠商壟斷的局面,國產設備將與進口產品同臺競技,為廣大LED外延芯片企業改善產品品質、降低生產成本,提供優質的本土化服務。
在下線儀式上,臺灣璨圓光電公司代表與理想能源MOCVD總經理奚明博士代表雙方就首臺MOCVD出貨及后續多臺套設備的深入合作簽署了協議。
國家工信部、國家科技部,上海市發改委、市經信委、市科委,浦東區委、區政府,張江高新區、張江集團相關領導出席儀式,正泰集團股份有限公司董事長南存輝出席儀式并做講話。南存輝說,“我們立足技術創新不動搖,立足高端裝備制造不動搖,立足實業發展不動搖,充分發揮尖端技術、高端人才與產業和金融資本融合的優勢,為天更藍、地更綠、水更凈做出應有的貢獻!