一個(gè)單個(gè)的NT系列機(jī)器人能夠不使用軌道而只用2到3個(gè)FOUP就訪問所有的EFEM。
1：以ISO9283為基準(zhǔn)。
2：于川崎的無塵間內(nèi)測得。
3：標(biāo)準(zhǔn)式樣不含抓手。
4：分離電纜請(qǐng)從1m、2m、2.5m、3m、3.5m、4m、4.5m、5m中選擇。
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