激光是20世紀60年代發展起來的一門新興科學。它是一種具有亮度高、方向性好、單色性好等特點的相干光。
激光應用于材料加工,使制造業發生了根本性變化,解決了許多常規方法無法解決的難題。在航天工業中,鋁合金用激光焊接的成功被認為是飛機制造業的一次技術大革命。激光加工技術在汽車工業中的使用, 實現了汽車從設計到制造的大變化,優化汽車結構,減輕了汽車自重,最終使汽車性能提高,耗油量降低。激光精加工和激光微加工不僅促進了微電子工業的發展,而且為微型機械制造提供了條件。另外,傳統加工方法大都為力的傳遞,因此加工速度受到限制,而激光加工更多地是光的傳遞,慣性小,柔性大,而且激光能量密度高,加工速度可以很快,激光加工被譽為“未來制造系統共同的加工手段”。總之激光加工技術在世界范圍內的迅猛發展正在引起一場新的工業革命,最終使材料加工業從目前的電加工時代過渡到光加工時代 。
2012年在全球經濟低迷不振的大環境下,激光器制造商在“經濟余震”中所經歷的不確定性和擔憂,在經濟大衰退之后的幾年內將依然存在。然而從長遠銷售預期來看,在很多幾乎不受地域或者全球性經濟衰退影響的領域,激光正在作為一種成熟的、對經濟增長發揮重要作用的技術,呈現出上揚態勢。盡管預計全球債務危機將會限制2013年的某些資本設備支出,但是激光器有望憑借“能實現制造自動化、提高效率、降低能耗,進而使企業在經濟風暴中更具競爭力”的優勢脫穎而出。
半導體制造業發展迅速,“綠色”技術無疑具有光明的未來,這就要求有新的激光加工工藝與技術來獲得更高的生產品質、成品率和產量。除了激光系統的不斷發展,新的加工技術和應用、光束傳輸與光學系統的改進、激光光束與材料之間相互作用的新研究,都是保持綠色技術革新繼續前進所必須的。2013年激光技術在半導體行業將會取得怎樣的成績呢?
半導體市場:黯然神傷
雖然智能電子設備組件的微加工將繼續為光纖激光器制造商帶來利好勢頭,但是主要依賴于半導體資本設備采購的激光器制造商,將在2013年遭遇坎坷。
“隨著半導體行業從45nm轉向20nm甚至更高的節點,需要更多的制造步驟處理更多的層和新材料,這導致資本強度增加。”半導體設備暨材料協會(SEMI)行業研究與統計高級總監Dan Tracy表示,“2010年和2011年,半導體行業在產能擴充方面實現了堅挺恢復,同時也轉向了更加先進的工藝技術。而2012年產能擴張的減少,為半導體行業帶來了更多不確定性,一些分析師預計2013年半導體行業的資本支出將出現負增長。”Tracy還補充道,半導體資本設備市場存在著周期性,最近報道的設備數據反映了2012年下半年更加低迷的行業狀況。2012年10月的訂單出貨比為0.75,訂單量約比2011年10月下跌20%。
“對于微電子行業來講,2012年將是一分為二的年頭,”相干微電子部門營銷總監David Clark表示,“預計2013年傳統消費電子產品,如筆記本電腦、PC、數碼相機、硬盤驅動器和電視機將非常不景氣,但是平板電腦和智能手機以及相關組件將會以驚人的速度增長。這無疑是個好消息,因為這些移動設備組件很多都是使用相干的激光器制造的,相干的這部分業務將會繼續強勁增長。”Clark補充說,“如果基于Windows 8的超級本和平板電腦在企業市場獲得真正成功,相信這必將刺激2013年IC銷售額的限制增長。”
IC Insihts公司也看到了類似趨勢,其預計2013年電子設備的銷售額將增長5%,2012年的增長率為3%。Clark對更長遠的趨勢也持樂觀態度,他表示,“4G-LTE無線網絡建設、互聯網流量的持續增長、云計算的采用一級即將向450nm晶圓的遷移,所有這些都將促使未來幾年內半導體資本支出方面出現重大投資。”
相干2012年第四財季(截至2012年9月29日)的銷售額,從上年同期的2.08億美元下降到1.89億美元;與上個季度相比,訂單量下降近23%。相比之下,Newport則由于研發市場和工業市場的強勁表現而實現了創紀錄的銷售額;當然半導體資本支出的疲軟也使其受到了一定影響,其第四財季(截至2012年9月29日)微電子業務銷售額比上年同期下降了9.7%,降至1.1億美元。
作為一家主要為半導體行業提供光刻光源的供應商,Cymer公司2012年第三季度(截至2012年9月30號)的總營收約為1.32億美元,基本與上年同期持平,但低于2012年第二季度1.49億美元的總營收。2012年10月,Cymer公司被荷蘭ASML公司以大約26億美元的價格收購;2012年第三季度,Cymer出貨了27套紫外系統,并向ASML交付了其首款極紫外光源,曝光功率為30W。
Cymer公司和日本Gigaphoton公司是業界領先的極紫外光源制造商,依據摩爾定律,他們會繼續享受業務增長。但是研究超短、超高功率激光脈沖(如用于光與物質相互作用研究的極強光設施)的激光器制造商,正在尋求超越摩爾定律。
“早在2007年,來自美國能源部基礎能源科學顧問委員會的一份報告就顯示,當集成電路制造達到分子級或納米級的時候,其將遠遠超越摩爾定律的限制。一個基于納米芯片的超級計算機,可以舒適地握在掌中,且耗電極低。”Calmar Laser公司營銷總監Tim Edwards說,“這使得激光產業令人興奮不已——沒有激光發揮舉足輕重的作用,分子尺度的未來將無法實現。飛秒光纖激光器制造商始終致力于提升脈沖到脈沖之間的穩定性,以滿足眼科、光譜、DNA分析、分子成像、薄膜太陽能電池加工以及