據報道，中國科學院電子學研究所傳感技術國家重點實驗室近日成功研制出基于MEMS（微機電系統）技術的電場傳感器系列創新產品，已實現小批量生產和應用。產品已在航空航天、智能電網等多領域。

據業內預測，隨著全球電子制造業繼續向中國轉移，預計2013年至2015年，中國MEMS市場將繼續保持兩位數增長，到2016年，中國MEMS市場銷售額預計將超過350億元。