setra西特730系列真空電容式壓力計
Setra 的 730 型是一款高精度的電容式壓力計(亦稱電容式膜片真空計 (CDG)),適合在光伏、半導體和工業市場中測量對過程控制至關重要的低真空范圍。該產品讀數精度達 ±0.5%,分辨率高,優于同類產品。 730 型使用全InconelTM 接液材料,可承受半導體加工過程中的腐蝕性介質。由于采用直接測量設計,它能***測量介質,不受應用中氣體混合物成分的影響。應用·半導體處理室·石化·等離子體滅菌器·真空包裝,軍工領域,
730G020TAN22CT1K 730G10CTAD42CD9A 730G010TAD42CD9A 730G010TAN12CT1A 730G10CTAD42CD7A 730G010TAN12CD7A
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特性
·高精度:±0.5% 讀數·張緊的膜片保證優異的性能·工作溫度補償范圍寬·回路噪聲低,響應快·不易受環境條件變化影響·出色的抗過壓設計·符合 CE 和 RoHS 規范、
■ 耐化學品的 InconelTM 設計■ ***的低真空測量■ 專用壓力接頭適合苛刻應用的高性能產品
采用單膜片可變電容感應元件,適用于苛刻的半導體和工業真空應用。它具有讀數精度和分辨率高、動態范圍寬的特點,使之成為關鍵制造過程中的理想選擇。
Inconel® 設計保證通用性
所有接液部件均采用 Inconel TM 材料,因此對半導體和工業真空過程中的腐蝕性介質具有極高的耐受性。Inconel TM 材 料 結 合 全 焊 接 結 構, 確 保 730 型 在 這 類應用中的長使用壽命。
直接壓力測量
內置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業電容式壓力計不同, 730 型測量直接壓力,不受被測混合氣的影響,這使其精度優于間接測量型壓力計。