可真空使用 (VZ100 、VZ300R、VZ500R)
無需進行先導閥的排氣對策 (集中排氣型：VZ300M 、500M)
可作為選擇閥或分離閥使用(外部先導型：VZ300R、500R)
集裝型號：VV3Z1，VV4Z1，VV3Z3，VV3Z5
| 列 |
流量特性
2→3(A→P)
C［dm3/（ sbar）］ |
流量特性
2→3(A→P)
b |
流量特性
2→3(A→P)
Cv |
消耗功率（W） |
可真空使用 |
| VZ100 |
0.19 |
0.071 |
0.042 |
1.8 |
-100kPa |
| VZ300 |
1.2 |
0.48 |
0.34 |
1.8 |
-100kPa |
| VZ500 |
2.7 |
0.34 |
0.69 |
1.8 |
-100kPa |
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