SEMISTAR-VD95D
適用于真空環境內*大搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人！
雙腕玻璃基板搬運機器人
負載：95KG
動態范圍：2300mm
控制柜：DX100
用途：搬運、潔凈室
大動作范圍：*大搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人。
手臂采用連桿機構實現高鋼性。
采用真空內傳送帶驅動實現低放出氣體性能。
手臂可內置基板傳感器用配線。
項目 規格 備注
名稱 SEMISTAR-VD95D
機型 XU-RVD1450D6-A10(配傳感電纜)
構造 水平多關節形(4個自由度)
動作范圍 L，R軸(伸縮) 2300mm
S軸(旋轉) -170°~+170°
U軸(升降) 150mm
動作時間*1
(速度運作時) L，R軸(伸縮) 3.2秒以下 2300mm伸縮距離
S軸(回轉) 3.8秒以下 340deg旋轉距離(但L，R=0)
U軸(升降) 2.5秒以下 150mm升降距離
重復定位精度*2 各軸±0.3mm 抓手安裝部分中心位置時
手臂抖動精度 ±0.3mm以下 水平方向，抓手安裝部分中心位置時
負載 95KG/手臂 含抓手重量
容許慣性力矩(CD2/4) *大118kg·m2 含抓手重量，抓手安裝部分中心位置時
耐真空度 1*10-6Pa
本體質量 1500kg
適用控制柜式樣 ERDR-VD0095D-A00 三相AC200V，3.0kVA
*1：動作節拍不保證帶有基板時搬運速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性產生共振時，會影響動作節拍，請重新設定。
*2：依據JIS B8432標準的動作重復定位精度。但有無工件時負載變動以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在內。
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