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發布信息

SEMISTAR-MR124半導體晶片搬運用機器人 動態范圍1215mm 適用300mm-450m
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品牌： 安川
控制柜： SR100
動態范圍： 1215mm
用途： 搬運、半導體
單價： 面議
所在地： 上海
有效期至： 長期有效
最后更新： 2021-11-12 09:26
瀏覽次數： 363
詢價
店鋪基本資料信息
 
 產品詳細說明
SEMISTAR-MR124搬運機器人
適用于晶元搬運SEMISTAR-M系列升級版，引領業界的高性能！供應EFEM模塊全套設備。300枚/小時的高速搬運。

半導體晶片搬運用機器人
負載：-
動態范圍：1215mm
控制柜：SR100
用途：搬運、半導體
特點
大動作范圍：EFEM模塊移動距離可達4套應用設備，無需使用底架，極大地提高了搬運效率。
高速搬運：300枚/小時
適用：300mm-450mm晶片搬運
SEMISTAR-MR124 1SEMISTAR-MR124 2
*1：本公司標準終端效應器(300mm:邊緣把持/真空吸著,450mm:真空吸)
*2：300mm晶體(SEMI規格標準品),當使用本公司標準300mm對應終端校準器時
*3：機械臂回旋中心位置～晶體中心位置(本公司標準300mm對應終端效應器時)
*4：根據SEMI規格為基準的晶體規格。特殊石英晶體請與我司聯系。石英晶體也可對應（有業績）。但是根據石英規格，本公司需要進行評價和調整。
*5：在0.3m/s的流量下，機械臂進行真空吸附
SEMISTAR-MR124
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