高純單級大流量減壓閥
膜片與閥體完全金屬密封
平衡提升閥設(shè)計
同中心雙回旋金屬膜片設(shè)計,保證高精度并能夠大幅提升循環(huán)周期壽命
電子拋光 10 Ra
Cv=1.0, 1.8(optional)
入口壓力: 500, 3000psig
出口壓力: 0-25, 0-50, 0-100, 0-150, 0-200psig
介質(zhì)接觸部件材料:
閥體:316 不銹鋼 或 銅
膜片:316 不銹鋼
閥座:Teflon (500psig) / CTFE (3000psig)
閥帽:鍍銅鎳
加固部件:S21800合金(具有高強度高抗腐蝕強度)
其它部件:316 不銹鋼
*大漏率:<2 * 10-8 atm cc/sec He
推薦流量: 0~550slpm / 0~900slpm (Cv=1.8) |