TRUMPF 霍廷格中頻等離子體發生器主要用于雙陰極系統,例如用于雙磁控濺射。得益于高輸出功率和流程穩定性,中頻發生器不僅適合具有高沉積速率的大面積建筑玻璃鍍膜,而且適用于在半導體或太陽能電池上涂敷超薄型均勻涂層。憑借出色的精確度和生產效率,該款中頻工藝電源成為眾多等離子體激發應用的理想解決方案。
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