測量原理
絕對(duì)測量法是指編碼器通電時(shí)就可立即得到位置值并隨時(shí)供后續(xù)信號(hào)處理電子電路讀取。無需移動(dòng)軸執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作。絕對(duì)位置信息來自一系列絕對(duì)碼構(gòu)成的光柵刻線。單獨(dú)的增量刻軌信號(hào)通過細(xì)分生成位置值,同時(shí)也能生成供選用的增量信號(hào)。圖示為帶附加增量刻軌的絕對(duì)式編碼光柵尺(例如LC 485)絕對(duì)
海德漢公司的光學(xué)掃描型光柵尺或編碼器的測量基準(zhǔn)都是周期刻線-光柵。這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長度測量用的光柵尺基體為鋼帶。海德漢公司用特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。
• AURODUR:在鍍金鋼帶上蝕刻線條,
典型柵距40 μm
• METALLUR:抗污染的鍍金層金屬線,
典型柵距20 μm
• DIADUR:玻璃基體的超硬鉻線(典型柵
距20 μm)或玻璃基體的三維鉻線格柵
(典型柵距8 μm)
• SUPRADUR相位光柵:光學(xué)三維平面格
柵線條,超強(qiáng)抗污能力,典型柵距不超
過8 μm
• OPTODUR相位光柵:光學(xué)三維平面格柵
線條,超高反光性能,典型柵距不超過
2 μm
這種方法除了能刻制柵距非常小的光柵外,而且它刻制的光柵線條邊緣清晰、均勻。再加上光電掃描法,這些邊緣清晰的
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