SJ6000激光干涉儀采用高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，結(jié)合線(xiàn)性鏡組能實(shí)現(xiàn)0.5ppm精度的線(xiàn)性測(cè)量；結(jié)合相應(yīng)鏡組還能實(shí)現(xiàn)角度、直線(xiàn)度（平行度）、平面度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的測(cè)量，并進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析。 

SJ6000激光干涉儀性能特點(diǎn)：

1.測(cè)量精度高、速度快，穩(wěn)定性好

①使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(zhǎng)(633nm)為測(cè)量單位，分辨率可達(dá)nm級(jí)

③使用高速光電信號(hào)采樣和處理技術(shù)，測(cè)量速度可達(dá)到4m/s。

④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度

⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應(yīng)用范圍廣

①可以實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平面度等幾何量的檢測(cè)

②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析

③可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當(dāng)前熱門(mén)的軟件界面開(kāi)發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。

②將靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量?jī)煞N功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶(hù)切換測(cè)量類(lèi)型。

③向?qū)�式操作，流程清晰，更符合�?guó)內(nèi)用戶(hù)的使用習(xí)慣。

4 性?xún)r(jià)比高

性能達(dá)到了國(guó)外儀器的水準(zhǔn)，價(jià)格是國(guó)內(nèi)儀器的良心價(jià)。

SJ6000激光干涉儀功能：

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、測(cè)量范圍大、分辨力高等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)線(xiàn)性、角度、平面度、直線(xiàn)度（平行度）、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的精密測(cè)量，并能對(duì)設(shè)備進(jìn)行速度、加速度、頻率-振幅、時(shí)間-位移等動(dòng)態(tài)性能分析。

在相關(guān)軟件的配合下，可自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償方案，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)。

SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：

      系統(tǒng)性能

²    測(cè)量方式：?jiǎn)晤l

²    穩(wěn)頻精度：0.05ppm

²    動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

²    預(yù)熱時(shí)間：約6分鐘

²    工作溫度范圍：(0~40)℃

²    環(huán)境溫度范圍：(0~40)℃，環(huán)境濕度：(0~95)%RH

²    存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃

      環(huán)境補(bǔ)償示值誤差

²    空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

²    空氣濕度傳感器：±6%RH  (0~95) %RH

²    大氣壓力傳感器：±0.1kPa

      線(xiàn)性測(cè)量

²    測(cè)量距離：(0~40)m

²    測(cè)量精度：0.5ppm (0~40)℃

²    測(cè)量分辨力：1nm

²    測(cè)量*大速度：4m/s

      角度測(cè)量

²    軸向量程：(0~15)m

²    測(cè)量范圍：±10°

²    測(cè)量精度：±(0.04%R)″ (R為顯示值，單位：″)

²    測(cè)量分辨力：0.1″

      平面度測(cè)量

²    軸向量程：(0~15)m

²    測(cè)量范圍：±1.5 mm

²    測(cè)量精度：±(0.6%R+0.02 M²) μm  (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m)

²    基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)

測(cè)量分辨力：0.1μm

      直線(xiàn)度測(cè)量

²    軸向量程：(0.1~4.0)m

²    測(cè)量范圍：±3mm

²    測(cè)量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M²) μm  (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m)

²    測(cè)量分辨力：0.01μm

      垂直度測(cè)量

²    軸向量程：(0.1~3.0)m

測(cè)量范圍：±3mm

²    測(cè)量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″  (R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m)

²    測(cè)量分辨力：0.01μm/m

      回轉(zhuǎn)軸精度測(cè)量

²    角度測(cè)量范圍：(0~360)°

²    測(cè)量精度：±1″

*高轉(zhuǎn)速：10rpm

鋰電池供電，藍(lán)牙傳輸數(shù)據(jù)。

 SJ6000激光干涉儀配置清單：

序號(hào)	名稱(chēng)	明細(xì)	備注
1	SJ6000主機(jī)	1臺(tái)，配云臺(tái)	標(biāo)配
2	環(huán)境補(bǔ)償單元	1套，配1個(gè)空氣溫度探頭和3個(gè)材料溫度探頭	標(biāo)配
3	筆記本電腦	1臺(tái)，配測(cè)量軟件	標(biāo)配
4	便攜式拉桿箱	1個(gè)，尺寸：560mm×460mm×270mm	標(biāo)配
5	通用三腳架	1個(gè)	標(biāo)配
6	線(xiàn)性鏡組	線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡，各1個(gè)	標(biāo)配
7	鏡組安裝配件	磁性座2個(gè)	標(biāo)配
		安裝柱4節(jié)
		輔助安裝塊2塊
		夾緊塊2個(gè)(帶鎖緊螺絲)
		測(cè)頭夾具1個(gè)(內(nèi)徑：φ32mm)	選配
8	輕型線(xiàn)性附件	小角錐反射鏡、縮光鏡，各1個(gè)	選配
9	遠(yuǎn)距離線(xiàn)性附件	大角錐反射鏡、遠(yuǎn)距離分光鏡，各1個(gè)	選配
10	可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡	可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡1個(gè)	選配
11	角度鏡組	角度干涉鏡、角度反射鏡，各1個(gè)	選配
12	平面度鏡組	平面度鏡組需要與角度鏡組組合使用	選配
		平面度反射鏡2個(gè)
		180mm可調(diào)基板、360mm可調(diào)基板，各1個(gè)
13	直線(xiàn)度鏡組	直線(xiàn)度干涉鏡、直線(xiàn)度反射鏡，各1個(gè)	選配
		直線(xiàn)度附件1套
14	垂直度鏡組	垂直度鏡組需要與直線(xiàn)度鏡組組合使用	選配
		光學(xué)直角尺、垂直度安裝三腳架，各1個(gè)
15	高精密轉(zhuǎn)臺(tái)	鋰電池供電，藍(lán)牙傳輸	選配
16	工作服	夏、冬實(shí)驗(yàn)室工作服各1件	選配